清华大学 深圳研究生院 能源电工实验室

仪器设备操作提示

高阻计 6517B

使用电脑操作部分

陈杰编写  谢老师校核、插图

2011.09.13.

1. 安装高阻计与电脑端通信软件光盘《KPCI-488LPA AND KUSB-488B PRODUCT INFORMATION》， 并重启计算机使得通讯配置生效。

2. 打开上步安装软件所在菜单，打开《KUSB-488B QUICK START GUIDE》文件，按P4-P11页所示，对KUSB-488B硬件安装驱动和进行配置（请使用主机箱后面的USB接口）。

3. 安装高阻计操作软件《MODEL 6524 PRODUCT INFORMATION》中install子文件夹中的应用程序，生成高阻计操作软件菜单。

4. 按照《操作手册（instruction manual）》中P9的接线图进行接线，以连接测试端（8009）和电压源（6517B），请注意：8009外壳一定要接地！

5. 根据高阻计软件操作界面中的各种测试操作菜单，完成参数的设置和功能的选择，详细见《model 6524 user’s manual》。

6. 如想单独使用6517B和8009完成测试，请参考光盘《precision low current sources/Measurements Low/High Resistance Product information》中6517B-900-01.pdf，6517B-901-01.pdf，SPEC-6517B.pdf的相关内容。

仪器设备操作提示

高阻计 6517B

不用电脑直接操作部分

何晓伟编写  谢老师校核、插图

2011.09.20.

电阻率测量
样品先擦拭洁净，以免污染测试探头。

1、“Zerocheck”状态下，按“R”选择测量电阻功能。

2、选择 Auto V-Source ohms
  按 CONFIG — R 显示菜单，选择 VSOURCE — ENTER — AUTO — ENTER；
此状态下，V-Source 自动设定电压值（一般为 40V 或 400V）最优化测量准确性。

3、选择量程
  按 AUTO 键选择自动量程，或按上、下（△和▽）键手动选择量程。

4、接线
  选择所要测量的电阻类型（体积电阻率或表面电阻率）。

5、设置对应的电阻率测量模式
  依次按 CONFIG — R 显示菜单，选择 MEAS-TYPE — ENTER — RESISTIVITY — ENTER。

6、选择表面电阻率测量模式
  按 EXIT 键退出。

7、选择体积电阻率测量模式
  按 ENTER 显示体积参数菜单，选择 THICKNESS — ENTER 显示样品厚度，
按上、下、左、右键确定样品厚度，ENTER 确认，EXIT 退出。

8、按 Z-CHK 键，Zero check 停止显示。

9、按 OPER 键，等待 60s，读数。